PZT光纤MEMS扫描仪

单输入螺旋扫描

气溶胶喷射PZT双晶片驱动锥形光纤,在单一信号下非线性振动实现螺旋扫描,避免硅基PZT易断裂问题。

Wang, Weichih · Denq, Li Ming · Peng, Kuan Cheng · Hsu, Hsien Yi · Estroff, Benjamin · Lai, Pao Yen · Schipf, David R. · Wu, Wen Jong Jeremy

Microsystems and Nanoengineering 2024

参数信息

螺旋扫描直径
60 μm
帧率
10 Hz
可分辨线宽
5 μm
十字图案长度
15 μm

技术优势

单输入即出螺旋扫描

利用非线性振动,仅需一个驱动信号即可产生螺旋扫描图案,无需两路相位差信号,简化了控制系统。

摆脱硅基底易裂问题

在不锈钢基底上采用气溶胶喷射打印PZT双晶片,有效解决了硅基PZT常见的断裂与层分离,提升了器件可靠性。

锥形光纤展宽视场

光纤尖端精确锥形化可减少照明散射、调谐共振频率,并实现大视场,同时保持独立双轴扫描。

应用场景