单输入螺旋扫描
气溶胶喷射PZT双晶片驱动锥形光纤,在单一信号下非线性振动实现螺旋扫描,避免硅基PZT易断裂问题。
Wang, Weichih · Denq, Li Ming · Peng, Kuan Cheng · Hsu, Hsien Yi · Estroff, Benjamin · Lai, Pao Yen · Schipf, David R. · Wu, Wen Jong Jeremy
Microsystems and Nanoengineering 2024
利用非线性振动,仅需一个驱动信号即可产生螺旋扫描图案,无需两路相位差信号,简化了控制系统。
在不锈钢基底上采用气溶胶喷射打印PZT双晶片,有效解决了硅基PZT常见的断裂与层分离,提升了器件可靠性。
光纤尖端精确锥形化可减少照明散射、调谐共振频率,并实现大视场,同时保持独立双轴扫描。