漏斗形Si3N4纳米孔

无需修饰即高整流

无表面修饰的双极纳米流体二极管,通过酸碱溶液填充即可实现离子单向输运。

Lei, Xin · Zhang, Jiayan · 刘泽文 · 江雷

Small 2023

参数信息

薄膜厚度
100 nm
最小孔径
7 nm
制备时间
20 ms

技术优势

无需表面修饰

漏斗形纳米孔本身的不对称几何结构即可产生双极整流,不必再对孔壁进行化学修饰,简化了器件制备流程。

制备极快且精准

利用可编程离子剂量的聚焦离子束,可在20 ms内刻蚀出直径7 nm的纳米孔,精度达到单纳米级别。

阵列化提升性能

通过高效制备纳米孔阵列,可进一步提高整流性能,为高通量应用铺路。

应用场景