CVD多层陶瓷薄膜

600 °C耐磨损

通过化学气相沉积制备的TiN/TiCN/Al₂O₃多层薄膜,与基体结合强度高,在600 ℃高温下磨损率低,适用于高温工况下的耐磨防护。

王选 · Yu, Yin · Liye, Zhang · Ye, Dai · Fu, Zhou · 彭东 · Bai, Yixin · Ding, Xingxing · Lingshu, Dong · Zehui, Hua · Minghui, Dai · Cong, Dalong

Surface Technology 2024

具体参数

多层膜与基体结合强度
68.53 N
体积磨损率
0.58×10⁻⁵ mm³/
体积磨损率
4.23×10⁻⁵ mm³/
薄膜厚度
约3.0 μm