硅压力传感器

灵敏度5.07 mV/V/MPa

通过优化敏感膜粗糙度，兼顾高灵敏度与低成本制造。

Shijin, Yan · 雷程 · Wang, Dandan · Yu, Jiangang · Li, Yongwei · Ji, Pengfei · 谭秋林 · 梁庭

Micromachines 2025

具体参数

灵敏度

{'zh': '5.07', 'en': ''} mV/V/MPa

非线性误差

{'zh': '0.67', 'en': ''} %

迟滞

{'zh': '0.88', 'en': ''} %

重复性

{'zh': '0.75', 'en': ''} %