等离子氟化聚酰亚胺

直流闪络电压提升

该薄膜通过等离子体刻蚀与化学氟化协同处理，同时优化表面微观形貌与陷阱分布，显著提高直流闪络电压。

Jiang, Wu · Minheng, He · Tingyu, Wang · Xiaomin, Wang · 张勃 · Shang, Penghui

Gaodianya Jishu/High Voltage Engineering 2025

技术优势

闪络电压显著提升

氟化后等离子体处理形成体突起和粗糙形貌

深陷阱密度降低