外框锚定盘式谐振陀螺

抗振抗冲击

通过提高谐振频率增强抗振动和冲击能力，同时保持高Q值，实现战术级潜力的角随机游走和偏置不稳定性。

Zhai, Zhaoyang · 王博文 · 王坤峰 · 邹旭东

Sensors 2024

参数信息

角随机游走

0.63 °/h

偏置不稳定性

7.7 °/h

技术优势

抗振动冲击

提高外框架和平移模式的谐振频率，使陀螺在振动和冲击环境下不易被激发，保持性能稳定。

保持高Q值

在提高抗振能力的同时，酒杯模态保持高Q值，从而增强灵敏度并降低角随机游走。

CMOS兼容工艺

在两掩模SOI工艺中使用(100)单晶硅，与标准CMOS制造流程兼容，有利于批量生产和集成。

应用场景

• 惯性导航：提供低漂移角速度信号，提升航位推算精度。
• 航空航天制导：抗振动冲击，适用于高动态飞行环境。
• 无人机航姿系统：小体积低噪声，适合无人机小型化航姿系统。
• 智能建造监测：恶劣振动环境下仍能可靠测量结构微小转动。