室温30天不粗化
以(111)取向纳米孪晶铜为基底,引入稳定界面抑制晶界迁移,使电镀纳米晶铜在室温长期存放后仍保持细晶结构,可实现低温高质量铜铜键合。
刘剑 · Hao, Gong · 陆洋 · 杨勇 · Feng, Shien Ping Tony
Advanced Science 2026
ng/nt界面均匀的原子能量阻止晶界迁移,抑制原子吸附,从而保持纳米晶组织。
纳米晶组织提供大量快速扩散通道,使Cu-Cu键合在低温预算下即可完成。
高密度Σ3孪晶界和层错的形成松弛了内应力,进一步抑制晶界运动。