25 ppb精准可测
基于商用ITO玻璃经激光刻蚀与等离子体处理的晶圆级气体传感器，可实现ppb级臭氧的实时精准监测。
Ji, Xiaohua · Meng, Li · 张若凡 · Deng, Zanhong · 王时茂 · 卢华东 · 孟钢
Nano Letters 2026
可实时监测 25 至 200 ppb 范围内的 O₃
晶圆级制备，传感性能均匀
180 °C 自加热