射频无源柔性触觉
一种垂直集成的射频无源压力传感阵列，在4×14×14 mm²的面积上实现了高密度四单元集成与宽动态范围压力检测，适用于电子皮肤和植入式场景。
Yang, Lu · Ruili, Tang · Shengyao, Dou · Yuhao, Cai · Xingyu, Ma · 陈达 · 刘一剑
Sensors and Actuators, A: Physical 2025
能检测从2.5 Pa到2200 kPa的宽压力范围，覆盖从轻微触觉到高压的多种应用需求。
最大灵敏度达到13.875 MHz/kPa，对微小压力变化有显著的频率响应。
单个传感器单元面积仅14 mm×14 mm，有利于在小尺寸内实现高密度集成。
通过机器学习方法克服S11谱中谐振峰重叠和消失的问题，实现了9个位置的触觉感知。