片上1.32 mbar分辨率
通过液芯/液包波导的可重构性,同一芯片能按需调整压力传感的灵敏度与线性度,突破了传统固态传感器性能固定的限制。
Xinchang, Wang · 宋乐 · Xu, Wang · Siying, Lu · 郑叶龙 · 房丰洲
IEEE Sensors Journal 2024
与常规固态器件相比,该方法允许基于液体的柔性重构,从而能定制调整传感性能,无需更换芯片即可适应不同压力范围。
当所需测量压力从400降至300 mbar时,通过波导重构可将灵敏度提升67.3%,实现针对低压范围的优化。
当所需测量压力从300增至400 mbar时,波导重构可将非线性误差降低68%,在更宽压力范围内维持线性。