可重构液芯波导压力传感器

片上1.32 mbar分辨率

通过液芯/液包波导的可重构性,同一芯片能按需调整压力传感的灵敏度与线性度,突破了传统固态传感器性能固定的限制。

Xinchang, Wang · 宋乐 · Xu, Wang · Siying, Lu · 郑叶龙 · 房丰洲

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

理论分辨率
0.14 mbar
实测保守分辨率
1.32 mbar
灵敏度提升
67.3 %
非线性误差降低
68 %

技术优势

可重构定制性能

与常规固态器件相比,该方法允许基于液体的柔性重构,从而能定制调整传感性能,无需更换芯片即可适应不同压力范围。

灵敏度可提升

当所需测量压力从400降至300 mbar时,通过波导重构可将灵敏度提升67.3%,实现针对低压范围的优化。

线性度可改善

当所需测量压力从300增至400 mbar时,波导重构可将非线性误差降低68%,在更宽压力范围内维持线性。

应用场景