缺陷钝化IGZO/In₂O₃叠层TFT

室温ppb级NO₂检测

通过界面缺陷钝化与可见光辅助恢复，在室温下实现高性能NO₂气体传感，优于传统高温工作的氧化物传感器。

Liang, Chengyao · 胡巍 · Peng, Di · 周泳 · Yong, Wang · Yi, Guo · Peng, Zhang · Yuhong, Wu · 杨希 · 何邕

Journal of Materials Chemistry C 2025

具体参数

阈值电压

{'zh': '0', 'en': '0'} V

检测极限

{'zh': '50', 'en': '50'} ppb

工作温度范围

{'zh': '25-100', 'en': '25-100'} °C

技术优势

缺陷被钝化了

IGZO/In₂O₃界面处的缺陷钝化机制降低了陷阱态密度，带来近零阈值电压和更低的回滞。

可见光就能复活

可见光激活取代了传统所需的紫外照射，实现高效传感器恢复，更安全节能。

室温下能测50 ppb

传感器对NO₂的检测限低至50 ppb，工作温度范围宽至25–100 °C，优于传统高温工作的MOS气体传感器。

应用场景

• 便携气体传感：室温工作、可见光恢复使传感器可集成至便携设备。
• ppb级环境监测：50 ppb探测限满足环境痕量NO₂监测需求。
• NO₂生物传感器：高选择性NO₂检测可应用于生物呼出气分析。
• 法医现场快检：ppb级灵敏度与便携性可实现爆炸物、毒品挥发物现场快检。
• 柔性电子鼻：室温工艺与全氧化物材料利于在柔性基底上制备电子鼻阵列。