五倍灵敏度
基于真空密封多层石墨烯膜，间接敏感结构大幅降低空气阻尼，同时解决了石墨烯与基底间的气体渗透问题。
Liu, Yujian · 李成 · 吴征威 · 樊尚春 · Wan, Zhen · Song, Hang
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
采用真空密封与间接敏感方法，使大气环境中的能量损耗降低为原来的1/60。
多层石墨烯膜密封在真空中，彻底解决了石墨烯与基底之间长期存在的气体泄漏问题。
全光学封装腔结构使信噪比达到6.9×10⁻⁵ Pa⁻¹，有利于微弱压力信号的检测。
温度漂移仅为0.014%/°C，确保传感器在不同温度下输出稳定。