双谐振石墨烯压力芯片

灵敏度超硅68倍

一个谐振器测压,另一个只测温度,通过频差自补偿,在宽温域内实现稳定高灵敏压力检测。

Wan, Zhen · 李成 · 吴征威 · Zhao, Pengcheng · Liu, Yang · 樊尚春 · Jin, Wei

Advanced Science 2025

参数信息

灵敏度
24.1 kHz kPa⁻¹
满量程迟滞误差
0.31 %
重复性
0.75 %
最大压力误差
6.51 kPa
精度
1.302 %

技术优势

灵敏度远超硅

石墨烯极薄的厚度使得谐振频率对压力极其敏感,灵敏度达24.1 kHz kPa⁻¹。

温度自补偿

两个谐振器一个同时感知压力和温度,另一个只感知温度,通过频率差分消除热漂移。

宽温区高精度

在-40至120°C和全压力量程内,最大压力误差仅6.51 kPa,对应精度1.302% FS。

迟滞低重复好

满量程迟滞误差仅0.31%,三次往返测试重复性0.75%,保证测量稳定。

应用场景