灵敏度超硅68倍
一个谐振器测压,另一个只测温度,通过频差自补偿,在宽温域内实现稳定高灵敏压力检测。
Wan, Zhen · 李成 · 吴征威 · Zhao, Pengcheng · Liu, Yang · 樊尚春 · Jin, Wei
Advanced Science 2025
石墨烯极薄的厚度使得谐振频率对压力极其敏感,灵敏度达24.1 kHz kPa⁻¹。
两个谐振器一个同时感知压力和温度,另一个只感知温度,通过频率差分消除热漂移。
在-40至120°C和全压力量程内,最大压力误差仅6.51 kPa,对应精度1.302% FS。
满量程迟滞误差仅0.31%,三次往返测试重复性0.75%,保证测量稳定。