宽压域、高一致性的触觉阵列
一种受章鱼触手接触行为启发的柔性触觉传感阵列，通过可编程多级穹顶结构设计，在保证高灵敏度的同时扩展压力检测范围，并且利用晶圆级压印工艺实现多像素高一致性制造。
Chen, Xiaoliang · 陈云 · 李盛 · Wang, Bin · Zhang Q. · 黎相孟 · 李祥明 · Wang, Chunhui · He, Juan · 田洪淼 · 邵金友
Advanced Science 2024
通过调整多级穹顶结构的排列方式，可以定制压力范围和灵敏度，满足不同应用需求。
借助可扩展高精度压印技术，该结构可扩展至多像素传感器阵列并在晶圆级保持高一致性。
设计的支撑隔离结构有效提高了传感器阵列的抗串扰性能，串扰系数达到26.62 dB。
导电层共形嵌入多级穹顶结构，提高了稳定性，在超过22 000次循环后仍能保持性能。