堆叠CMOS湿度传感器

±0.8%RH 业界最佳精度

通过将湿度传感器堆叠在电路上方，在不增加面积的情况下实现了业界领先的湿度检测精度和能效。

Li, Heyi · Du, Kaixuan · Bao, Yuanxin · Yanchi, Dong · Ru, Jiayoon Zhiyu · Xiao, Han · Zhang, Hao · Wang, Zhixuan · Zhong, Yi · 沈林晓 · Ye, Le · 黄如

IEEE Journal of Solid-State Circuits 2023

参数信息

电容分辨率

197 aF

湿度分辨率

0.094 %RH

有效位数

12.1 bit

技术优势

面积减半

通过在电路上方堆叠一对湿度传感器，且全部采用标准CMOS工艺，实现了更低的成本并将面积减少一半。

应用场景

• 环境监测：高精度湿度数据用于环境监测，无需频繁校准。
• 物联网传感器节点：低功耗和小面积适合电池供电的物联网节点。
• 可穿戴健康设备：高精度和低功耗满足可穿戴设备对湿度传感的需求。