多元素掺杂DLC薄膜

摩擦腐蚀抗性增强

通过平衡多元素掺杂,保护性碳酸盐钝化膜与高致密sp3碳网络协同提升耐蚀耐磨性。

Shi, Xianqing · Gao, Chengzuan · 徐锋 · Zhao, Wenxuan · Yuan, Liu · Yanan, Ge · Hong, Ying · Dunwen, Zuo

Tribology International 2026

参数信息

低掺杂
~4 at%
低掺杂
~4 at%
at high doping
35 at%
at high doping
35 at%

技术优势

耐腐蚀更强

低掺杂(~4 at%)时形成稳定碳酸盐型钝化膜并保持致密sp3碳网络,电荷转移电阻增加。

摩擦更低

低掺杂(~4 at%)时摩擦系数降低,抑制摩擦腐蚀失效。

工艺可调

通过系统调控多元素共掺杂水平实现微结构演变和摩擦腐蚀机制的调控。

应用场景