自解耦2D位移传感器

高分辨率精密定位

利用两个正交独立的一维传感器实现自解耦,克服传统2D位移传感器精度低和解耦差的难题。

Qingkai, He · Xiaoli, Feng · 徐振龙 · Shenyu, Sun · Aihua, Meng · 章雪挺 · 孟庆华 · Liu, Jingbiao · 刘超然 · 王中林

Advanced Materials Technologies 2023

参数信息

一维精度
≥99.06 %
二维精度
98.94 %
分辨率
200 µm

技术优势

通道间不串扰

两个一维传感器正交布置且独立工作,从结构上消除二维测量中的相互干扰。

精度够用

一维精度≥99.06%,二维精度98.94%,满足精密定位需求。

能看出起点

实验和仿真均证明传感器具备初始位置识别功能,无需额外回零。

应用场景