结节面积降 59%
用极简混沌电路取代复杂信号源,在大电流下显著抑制枝晶与结节、提高沉积质量,且无需高功率模拟放大。
Minati, Ludovico · Jie, Yang · Xiaoliang, Cen · 李春彪 · 刘作华
Nonlinear Dynamics 2024
混沌信号由单个晶体管产生,输出用低频开关放大,省去高功率模拟放大器,易于扩展到工业大电流。
相比直流,结节和枝晶影响的面积降低59%,减少了表面缺陷,提高沉积层均匀性。
在不受结节显著影响的区域,沉积金属厚度增加四倍,意味着单位时间获得更多合格金属。
电流效率提高5%,比能耗降低8.3%,直接降低生产成本和碳排放。