大幅精密定位
该执行器利用磁控形状记忆效应实现大行程输出，结合迟滞补偿控制显著提升了微纳制造场景中的定位精度，为高精度驱动提供了超出传统执行器的新方案。
Yu, Yewei · 张晨 · En, Wang · 周淼磊
IEEE Transactions on Circuits and Systems I: Regular Papers 2023
通过复合NARMAX模型精确描述迟滞特性，结合神经网络自适应控制补偿迟滞和时延，实现跟踪误差的渐进收敛，因此定位精度大幅提升。
MSMA执行器基于磁控形状记忆效应，天然具备大行程输出能力，适用于需要大范围运动的微纳制造设备。