高灵敏压电传感
采用优化切向的PMN-PT单晶,在纯横向场激励下实现高效能量束缚,适用于气相检测。
孙飞 · 马廷锋 · Pengfei, Kang · 干宁 · 袁丽莉 · Kuznetsova, Iren E.
Micromachines 2023
论文给出了纯LFE和赝LFE模式的最优切型,器件设计者无需自行搜索参数空间即可采用。
纯LFE模式下,PMN-PT声波器件实现良好能量束缚,无需在传感表面沉积电极,有利于气相检测。
赝LFE模式器件在空气中无能量束缚,但加水(虚拟电极)后出现谐振峰和能量束缚,可用于液相检测。
有限元仿真验证了两种模式的切型正确性,降低了试错成本。