纳米水冰薄膜

均匀厚度高结晶

一种在低温下原位生长、厚度均匀且结晶度增强的纳米级水冰薄膜，可用于电子束刻蚀与电荷研究。

Xianhui, Ye · Su, Jiaqi · 李子安

Nanomaterials 2025

技术优势

原位可控生长

通过调节温度和生长时间，可在铜网边缘和石墨烯基底上直接生长出厚度均匀、结晶度更好的水冰纳米结构。

可进行电子束刻蚀

在铜网边缘实现了水冰的图形化刻蚀，并对石墨烯基底产生局部刻蚀效果，展示了水冰作为电子束光刻介质的潜力。

带电可定量评估

利用离轴电子全息术定量测量了电子束辐照诱导的电荷积累，为研究冰纳米结构的带电行为提供了手段。

应用场景

• 低温电子显微学：提供厚度均匀、结晶度高的水冰薄膜作为标准样品，用于校准和优化低温电镜成像条件。
• 电子束光刻：水冰可直接在铜网边缘被电子束图形化刻蚀，有望作为一种无需显影的牺牲层光刻介质。
• 纳米制造：原位生长的冰纳米结构可用于在石墨烯基底上实现局部刻蚀，辅助纳米级图形转移。