英寸级稀土氧氯化物单晶

超低等效氧化层厚度

数小时快速生长英寸级块体单晶及单层薄膜，实现超低等效氧化层厚度和高载流子迁移率的石墨烯器件。

Zhuofeng, Shi · 郭维 · Zhu, Yaqi · Wu, Haotian · Xiaohui, Chen · 张晓东 · Novoselov, Konstantin Sergeevich · Mao, Boyang · 康宁 · 林立

Nature Materials 2025

技术优势

英寸级块体 LnOCl 单晶及薄至单层的单晶薄膜在数小时内生长完成

单层 LaOCl 等效氧化层厚度为 0.25，SmOCl 为 0.34

用作石墨烯器件的介电层，实现晶圆级载流子迁移率增强和良好的量子霍尔效应