同面积灵敏度最大
通过优化梳齿间隙比例，在相同梳齿面积下最大化电容灵敏度，同时采用改进的SOG工艺显著提高键合良率。
JiaCheng, Li · 王小艺 · 曹慧亮 · 谢会开
Micromachines 2024