非对称梳齿MEMS加速度计

同面积灵敏度最大

通过优化梳齿间隙比例，在相同梳齿面积下最大化电容灵敏度，同时采用改进的SOG工艺显著提高键合良率。

王小艺

Micromachines 2024

参数信息

谐振频率

约2.05 kHz

噪声基底

28 μg/

非线性度

<0.5 %

理论热机械噪声

9 μg/