电热微镜阵列

5V大行程高动态

集成了基于温度场的位置传感器，单个微镜在5V直流驱动下即可实现218 μm活塞行程和21°光学扫描角，动态响应快，热串扰低。

Ren, Anrun · Ding Y. · Yang, Hengzhang · Pan, Teng · Zhang, Ziyue · 谢会开

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

活塞行程
218 μm
倾斜-倾斜光学扫描角
21 °
上升时间
51.2 ms
下降时间
53.6 ms
活塞传感灵敏度
1.5 mV/μm
倾斜传感灵敏度
8.8 mV/°

技术优势

低压大行程

仅需5 V直流即可实现218 μm活塞行程，避免高压驱动带来的复杂电路与安全隐患。

片上闭环检测

集成基于温度场的位置传感器，灵敏度达1.5 mV/μm（活塞）和8.8 mV/°（倾斜），覆盖全行程，无需外部位置检测设备。

热串扰低

嵌入热隔离结构后，单元间热耦合被有效抑制，保证阵列独立控制精度。

应用场景