超低摩擦硬质薄膜
通过硅掺杂调控非晶碳膜结构，在保持高硬度的同时实现极低摩擦系数。
Sun, Kun · Mingjun, Sun · 陈成 · Chen, Sicheng · Jinwei, Fan · Diao, Dongfeng
Carbon 2023
Si掺杂后表面形成的石墨烯层间π*-π*相互作用和氢钝化降低了摩擦阻力。
Si原子替换部分sp3碳并形成强键，使薄膜硬度达到24 GPa。
纳米划痕测试中划痕深度仅为40-60 nm，表面不易受损。