Mg-Hf共掺AlN压电薄膜

压电系数大幅提升

通过Mg-Hf共掺杂显著降低弹性常数并大幅提升压电系数，为MEMS高性能压电器件提供更优材料选择。

Qiaoya, Lv · Qiu, Jian · Zhang, Haomiao · Wen, Quan · 喻佳兵

Materials Research Express 2023

技术优势

带隙降低拓宽应用

共掺结构的带隙值降低，可能改善电子特性，为在更宽频谱范围内的应用提供可能。

应用场景

• MEMS压电器件：替代传统AlN作为压电层，提升MEMS器件的传感与驱动性能。
• 压电传感器：提高传感器灵敏度，适用于微弱信号检测场景。
• 柔性压电器件：改善柔性基底上的压电响应，提升可穿戴设备性能。