气泡模板分子组装

亚12纳米精确图案

利用气泡超薄膜限制分子自组装，实现最高精度达12纳米的分子级图案。

Qu, Zhiyuan · 周鹏 · Min, Fanyi · Chen, Shengnan · 黄占东 · 闫永丽 · 尹晓东 · Hanqiu, Jiang · 柯于斌 · 胡勇胜 · 闫学海 · 乔雅丽 · 宋延林

Science Advances 2023

技术优势

亚12纳米精确图案，接近牛顿黑膜极限

最高精度达12纳米