结晶度最优可调
通过离子轰击能量、沉积温度和H/C比调控，实现高有序纳米晶碳薄膜的可控制备，其中H/C=1时结晶度最佳。
Che, Ju · 易培云 · Deng, Yujun · Zhang, Di · 彭林法 · 来新民
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
在H/C比为1时，薄膜结晶度达到最佳，为制备高有序纳米晶碳薄膜提供了明确的成分窗口。
氢原子通过化学催化过程促进纳米晶碳的形成，这一机制得到实验和密度泛函理论计算的支持。
采用先进的混合分子动力学-时间戳力偏蒙特卡罗模型，揭示了等离子体辅助生长的原子尺度机制，为工艺设计提供了理论依据。