自组装TENG加速度传感器

量程破千g

通过集成MEMS L型梁与聚苯乙烯纳米球自组装微阵列,突破摩擦电自供电加速度传感器小于100 g的量程瓶颈,同时实现5.4倍灵敏度提升。

Chi, Zhang · He, Yizhou · Qi, Wang · Weifan, Pan · Zhiqiang, Xiang · 李绍荣 · Guo, Xiaowei · Cheng, Yang

Chemical Engineering Journal 2025

参数信息

动态范围
1000 g
反向传感单元灵敏度分别从
9.35 mV/g

技术优势

皮尔逊相关系数达0.99988和0.99984

长期稳定性和热鲁棒性优异