三维折叠MEMS红外发射器

946K高温长寿命

采用斜角沉积纳米结构实现类黑体辐射，三维折叠设计显著提升工作温度，专为微型化光声光谱气体传感器打造。

李运甲

AIP Advances 2025

参数信息

输入功率
410 mW
调制频率
10 Hz
二氧化碳检测灵敏度
0.293 mV/ppm

技术优势

2.4 × 10⁶次工作循环温度稳定