温漂仅7 μg/°C
通过DC/AC静电调谐与闭环控制，消除了温度漂移与吸合不稳定，实现高精度加速度测量。
Jin, Yiming · 马志鹏 · Ye, Ziyi · Li, Mingkang · 郑旭东 · 金仲和
Microsystems and Nanoengineering 2024
自定心闭环将检测质量基准位置拉回几何中心，消除读出电路温度漂移并抵消静电调谐力，配合实时温度补偿，使温度漂移系数低至约7 μg/°C。
通过刚度闭环防止低刚度调谐下的吸合，配合参考位置实时调整，实现低于1 μg的Allan偏置不稳定性。
自定心闭环无需外部温度传感器即可将力反馈参考位置拉回几何中心，消除读出电路的温度漂移，简化系统设计。
刚度闭环实时调整DC调谐电压，防止低刚度加速度计在剧烈温度变化下发生吸合不稳定，保证传感器始终工作。