超薄钛膜阳极氧化层

室温结晶锐钛矿

50 nm钛膜恒流阳极氧化在室温下直接结晶出锐钛矿晶粒，揭示了超薄膜与厚膜完全不同的氧化机理。

Li, Wan · Jian, Chen · 理学 · Yanyan, Fan · 徐晓龙 · 张志友 · 李劲劲 · 王雪深

Vacuum 2026

参数信息

锐钛矿成核时间

40 s

成核深度

4 nm

表面粗糙度增加倍数

15 fold

技术优势

室温即可结晶

无需高温退火，在环境条件下通过阳极氧化直接获得锐钛矿晶粒，简化了功能氧化物薄膜的制备流程。

氧化层纯度高

XPS确认氧化层纯度很高，且表面以Ti4+为主，有利于获得稳定且性能一致的功能氧化物。

应用场景

• 功能氧化物薄膜制备：室温直接结晶锐钛矿，省去高温退火步骤。
• 光催化涂层：获得高纯度、表面Ti4+态的光催化活性层。
• 生化传感界面：可室温制备生物相容的TiO2薄膜。
• 电化学储能电极：为电极提供稳定的锐钛矿氧化层。
• 精密功能膜：精确控制厚度、粗糙度和结晶位置。