柔性电氧化铟传感

纳米应力低至20 nN

利用二维超平滑氧化铟晶体的柔性电效应，将纳米应力传感灵敏度推至20 nN，比压阻、电容、压电等传统低维材料传感器低四到六个数量级。

Hu, Xinyi · Luan, Yange · 唐涛 · 梁翼 · 任白玉 · 陈立国 · 赵玉龙 · Zhang Q. · Huang, Dong · Ou, Jian Zhen

Advanced Science 2024

参数信息

输出电压

2.2 mV

输出功率

0.2 pW

应力灵敏度

20 nN

柔性电系数

0.49 nC/m

柔性耦合系数

0.4 V

技术优势

灵敏度领先

灵敏度比压阻、电容、压电等低维材料传感器低4~6个数量级，意味着可检测更微弱的应力。

原位调节输运

形变诱导极化调制能带结构、显著降低肖特基势垒高度，从而直接调控电子输运。

应用场景

• 纳米应力传感：检测纳米尺度局部应力，用于材料力学行为原位表征。
• MEMS压力传感：替代传统压阻/电容式MEMS压力传感器，降低检测极限。
• 柔性触觉传感：用于高灵敏度触觉感知，检测微弱接触力。
• 机器人精细力控：为机器人提供高精度力反馈，实现精细操作。