深宽比达8.4
采用近红外皮秒激光在黑色PMMA上直接烧蚀出高质量微通道，混合效率优于CO2激光加工。
Rujun, Tang · Keyan, Li · Li, Xiao · Yewei, Jiang · Dehai, Xiong · 朱德华 · Feng, Aixing Xin · 李峰平 · 学位 · Yan, Xu · Chengyun, Luo · Yuqiao, Zhao
Optics and Laser Technology 2026
采用多次聚焦扫描方法，成功制备出深宽比高达8.4的高质量微通道，远高于常规单次扫描。
与CO2激光加工的微混合器相比，近红外皮秒激光加工的微通道具有更高的深宽比和更窄的通道宽度，促进了分子扩散，提升了混合效率。
在保证加工质量的同时，近红外皮秒激光的加工效率优于飞秒激光，更适合批量生产微流控器件。