超薄压电微结构

高稳系数兼容拉伸

采用一步电液动力直写结合原位极化,无需后处理即可同步实现超薄压电微结构的图案化与稳定极化,解决了制造策略中长期存在的矛盾。

Tian, Guo · 邓维礼 · 杨涛 · Lan, Boling · Wang, Shenglong · Sun, Yue · Yong, Ao · Jin, Long · 杨维清 · Ho, G. W.

Advanced Materials 2026

具体参数

压电系数
34.5 pm V⁻¹
厚度
20 µm

技术优势

无需后处理

一步电液动力直写结合原位极化,在制造过程中同步完成极化,省去传统极化步骤,简化流程并降低对微结构的损伤风险。

压电系数高且稳定

通过调控EHD沉积和聚合物结晶,引入结构异质性以平坦化极化能垒,从而在高度可拉伸架构中实现34.5 pm V⁻¹的高压电系数及长期稳定性。

超薄且可拉伸

蛇形微结构厚度低于20 µm,具备优异的机械柔顺性,并能与软湿组织共形耦合。

可定制图案

通过EHD直写技术能够按需制备确定性图案化的微结构,为特定应用定制几何形状。

应用场景