多层DLC薄膜

应力降85%

通过交替能量沉积策略优化调制比（1 eV/atom与70 eV/atom厚度比λ=1.3），利用软硬交替结构破坏连续应力网络，显著降低残余应力并提升摩擦学性能。

Naizhou, Du · 王永欣 · Wei, Xubing · 郭鹏 · Chen, Rende · Li, Hao · 77551413 · 77551414 · Lee, Kwangryeol · 李晓伟

Carbon 2025

参数信息

残余应力降幅

85 %

调制比

1.3

技术优势

应力大幅下降

交替能量沉积通过优化调制比（λ=1.3）打破连续应力网络，最大降低85%残余应力，缓解薄膜剥离风险。

摩擦系数更低

软硬交替配置（1–70 eV）在摩擦过程中形成类石墨烯层状结构，通过弱范德华相互作用和均匀应力分布降低摩擦系数。

应用场景

• 耐磨涂层：低应力高耐磨DLC涂层可延长刀具、模具等部件寿命。
• 精密运动部件：低摩擦系数和稳定应力分布提升精密运动部件的可靠性。
• 摩擦学测试：提供低应力基准样品，用于摩擦机理与涂层评估研究。
• 生物植入体：类石墨烯润滑层减少磨屑，提升植入体生物相容性。