蜂窝盘谐振陀螺仪

0.003°/h 偏置稳定性

区别于传统力平衡模式，采用模式反转结合偏转控制方法实现超高精度的MEMS陀螺仪，偏置稳定性达到迄今最优水平。

Liangqian, Chen · 李青松 · Miao, Tongqiao · 王鹏 · Zhang, Yang · 吴学忠 · 肖定邦

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

偏置不稳定性

0.003 °/h

偏置变化降低倍数

595

室温偏置不稳定性降低倍数

6.3

技术优势

精度提升近6倍

与传统的力平衡模式相比，新模式使室温下偏置不稳定性降低6.3倍，直接提升陀螺仪的测量精度。

温度变化影响骤降

在-40°C至+60°C温度循环中，偏置变化较传统方法降低595倍，极大削弱了环境温度对陀螺输出的干扰。

报告值刷新纪录

三台样机平均偏置不稳定性达到0.003°/h（积分时间8500秒），是迄今报道的MEMS陀螺仪最优性能。

应用场景

• 高精度惯性导航：替代低精度陀螺，提升惯性导航系统的长期定位精度。
• 精密仪器与测量：为精密测量设备提供高稳定角速度基准，降低漂移误差。
• 无人机稳定控制：改善无人机姿态解算精度，使飞行控制更平稳可靠。
• 机器人姿态感知：提升机器人姿态感知精度，支持复杂动作与自主导航。
• 航天器姿态控制：满足航天器对高可靠、低漂移角速度测量的需求。