表面改性HfO₂/SiO₂薄膜

激光损伤阈值提升

通过等离子体处理调控表面结构，去除污染物并提高界面HfO₂密度，从而增强薄膜的抗激光损伤能力。

Qi, Yongnian · 郭晓光 · Xing, Gao · 周平

Applied Surface Science 2025

技术优势

界面处HfO₂密度提高

激光损伤阈值(LIDT)改善