固定磨料微滴研磨

大口径SiC镜面研磨

将固定磨料与均匀喷射微滴集成，克服传统研磨中心堆积问题，实现大尺寸RB-SiC反射镜的高效高质量加工。

郭晓光

Journal of Materials Research and Technology 2025

技术优势

最低表面粗糙度 Sa 13.5 nm

实现延性域去除机制

材料去除轮廓均匀，避免中心集中