离心填充制备稳定
采用离心填充法将钨纳米粒子致密排布于光栅沟槽中,实现与自由沉积法相当的X射线吸收率,同时制备效率更高且性能稳定。
李冀
Journal of Micromechanics and Microengineering 2023
两种填充方法得到的吸收光栅X射线吸收率几乎相同
离心填充法制备的吸收光栅X射线吸收率稳定
具有制备周期为几微米的吸收光栅的潜力