双定子压电马达

高速高分辨跨尺度输出

通过在共振和准静态两种状态下工作，实现压电马达从微米级分辨率到毫米级速度的跨尺度输出。

潘巧生 · Huang, Ziliang · Zhao, Mingfei · Chen, Liwei · 黄强先 · 李瑞君

Mechanical Systems and Signal Processing 2023

参数信息

最小速度

0.013 mm/s

分辨率

0.5 μm

最大速度

11.14 mm/s

最大负载

40 g

技术优势

速度分辨率兼顾

同一平台即可实现11.14 mm/s的最大速度和0.5 μm的分辨率，无需切换不同的驱动机构。

跨尺度输出能力

从0.013 mm/s的最低速度到11.14 mm/s的最高速度，速度调节范围超过三个数量级，适应不同尺度的驱动需求。

应用场景

• 精密运动控制：用0.5 μm分辨率实现亚微米级定位，替代传统丝杠或直线电机。
• 微纳操作：提供从低速精细操作到高速移动的跨尺度运动，适合细胞或微器件操作。
• 微型机器人驱动：无需传动机构，直接驱动微型机器人关节，实现毫米级尺寸内的精密动作。
• 压电定位平台：集成到定位平台中，兼具高速扫描和纳米级定位能力，提升平台性能。
• 精密仪器：用于光学调整架或样品台，提供稳定且精确的位移，保证仪器测量精度。