锍功能化聚苯乙烯抗蚀剂

亚13 nm高分辨

通过简单的聚苯乙烯改性即可制备非化学放大抗蚀剂，无需传统化学放大抗蚀剂所需的光酸产生剂和烘烤步骤，且其溶解性通过极性基团分解为非极性产物来实现切换，简化了光刻工艺并提升了分辨率。

Wang, Zhihao · 陈金平 · 于天君 · 曾毅 · 郭旭东 · 王双青 · Allenet, Timothée · Vockenhuber, Michaela · Ekinci, Yasin · 杨国强 · 李嫕

ACS Applied Materials & Interfaces 2023

参数信息

分辨率（EUV）
13 nm
线边缘粗糙度
2.8 nm
剂量（EUV）
186 mJ cm⁻²
分辨率（EBL）
18 nm
分辨率（EBL，对比）
20 nm

技术优势

工艺简单

通过聚苯乙烯与三苯基锍盐的一步反应即可制备，无需复杂合成步骤，易于放大。

分辨率高

EUV下实现13 nm HP，EBL下18 nm HP，优于传统非化学放大抗蚀剂。

无需光酸产生剂

抗蚀剂本身含锍基团，曝光后极性基团分解导致溶解度变化，无需额外添加光酸产生剂。

无需后烘

非化学放大机制无需曝光后烘烤步骤，简化工艺并避免热致图形劣化。

应用场景