大口径高效率
采用自由端连续正弦光栅结构，突破传统MEMS光栅调制器的孔径与效率瓶颈，实现大孔径高光效的光强调制。
Wang, Binbin · 黎永前 · Ding, Jiaqian · Zhang, Laixian · 乔大勇
Microsystems and Nanoengineering 2025
采用自由端连续肋条结构，沿肋条方向具有更好的可扩展性，实现了30×30 mm的大孔径。
连续正弦光栅表面增加了填充因子，光效率高达90%，优于传统光栅调制器。
机械稳定时间仅1.1 μs，可在250 kHz频率下运行，实现动态调制对比度超过95%。