离子电子压力温度传感器

压力温度同步感知

在单一离子电子薄膜上实现电阻式和电容式双模式测量,通过解耦策略同时获得压力和温度,突破了传统传感器难以分辨两种信号的局限。

Qianqian, Yang · Ye, Zhiqiu · Renke, Wu · Lv, Honghao · Chen, Li · 徐凯臣 · 杨赓

Advanced Materials Technologies 2023

参数信息

压力灵敏度
25.9 kPa⁻¹
压力范围
796 kPa
温度误差
1.6 %
力误差
5.9 %

技术优势

压力温度不打架

利用离子电子薄膜的温敏电阻和电容的压力归一化变量实现解耦,在同一传感器上同时获得两种信号而互不干扰。

高灵敏度还宽量程

分级可压缩微结构(细长突起和粗短突起)使器件在低压力下实现高灵敏度,同时仍能测量高达796 kPa的压力。

机器人皮肤实测可用

传感器及5×5阵列已在温度感知、毛笔书写和物体操作等场景中作为机器人皮肤实际演示,证明其集成可行性。

应用场景