多孔介质电容式触觉阵列

法向剪切力双感知

嵌入增强多孔介质层的电容式三维力触觉传感阵列,通过真空辅助渗透和糖粒致孔,实现高弹性和宽量程的法向力与剪切力同步感知。

余建平 · Shengjie, Yao · Aoyun, Zhuang · Xiaoliang, Jiang · 李欣 · 姚喆赫

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

法向压力检测范围
>250 kPa
剪切压力检测范围
>60 kPa
法向压力灵敏度
1.63 %/kPa
剪切压力灵敏度
1.61 %/kPa

技术优势

宽量程法向力检测

多孔介质层提高了弹性,使法向压力检测范围超过250 kPa,远高于常规固态介质层传感器。

同步感知剪切力

表面凸点结构在剪切力作用下倾斜,引起电容变化,实现对剪切力的检测,范围超过60 kPa。

高灵敏度

法向和剪切压力灵敏度分别达到1.63%/kPa和1.61%/kPa,能够分辨微小力变化。

稳定耐用

实验显示良好的重复性和结构稳定性,可承受反复加载。

应用场景