埋入式液态金属微互连弹性体

高密度多层互连

飞秒激光直写一体化成形埋入式液态金属微通道与垂直互连结构，超疏金属性确保高深宽比盲孔/通孔可靠注液，实现可编程、高效、低成本的高密度多层柔性互连。

Zhang, Chengjun · 杨青 · Haoyu, Li · Zexiang, Luo · Lu, Yu · 张家良 · Cheng, Li · Lu Yu

International Journal of Extreme Manufacturing 2025

技术优势

无需掩模

飞秒激光直写直接在弹性体内部烧蚀微通道和通孔，省去光刻掩模和套刻对准，加工更灵活。

液态金属注得进去

激光烧蚀诱导的超疏金属性让液态金属能注入高深宽比盲孔/通孔，形成完整导电通路。

跨尺度多层可做

同一套工艺能实现从微米级通道到多层器件，不同尺度结构可以一体化制造。

应用场景

• 软体机器人内部布线：用埋入式液态金属互连替代传统导线，让软体机器人内部布线随变形不断裂。
• 可拉伸医疗电子：弹性体封装液态金属通路贴合皮肤变形，适合可穿戴医疗电极和传感器。
• 电子皮肤互连：高密度垂直互连支持电子皮肤多层堆叠，减少平面布线面积。
• 柔性传感器阵列：微通道按阵列图案直写，使传感器阵列布线可定制、间距更小。
• 微流控柔性器件：与微流控工艺兼容，可在同片弹性体内集成流道和电路。