低出气CuZr合金

低温烘烤即低出气

在120°C烘烤后出气率即低于180°C烘烤的不锈钢，用于真空室结构可简化烘烤工艺。

Ge, Xiaoqin · Tao, Huang · Zhang, Wenli · Wang, Sihui · Hong, Yuanzhi · Fan, Le · Yuanji, Pei · 王永

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 2024

参数信息

出气率（120°C烘烤）

3.85 ×10⁻¹¹ Pa L/s·cm²

出气率（180°C烘烤）

2.69 ×10⁻¹¹ Pa L/s·cm²

技术优势

低温烘烤更易除气

CuZr合金在120°C烘烤后的出气率低于180°C烘烤的不锈钢，因此真空室烘烤可在更低温度下完成，节省能耗并降低热负荷。

出气率低一个数量级

180°C烘烤48小时后，CuZr合金出气率比不锈钢低一个数量级以上，能获得更清洁的真空环境。

综合性能优异

除低出气率外，CuZr合金还具有良好的导电性和高强度高硬度，是加速器真空室结构材料的强力候选。

应用场景

• 加速器真空室：用作加速器真空室结构材料，可降低烘烤温度并减少出气。
• 真空设备制造：制造真空设备时采用CuZr合金可简化烘烤工艺，提高真空度。
• 低出气结构材料：作为低出气结构材料，在需要超高真空的场合替代不锈钢。