盲区缩减26%
通过中央去除与十字狭缝设计，该压电微机械超声换能器降低Q值并释放结构应力，从而减小测距盲区并提升制造一致性。
余洪斌
Sensors and Actuators, A: Physical 2024
同一晶圆上不同器件的频率偏差减少约50%
在40 Vpp驱动、71.5 kHz下，裸芯片最大探测距离3 m