石墨烯包覆铜纳米颗粒

低温可烧结互联材料

在铜纳米颗粒表面包覆石墨烯,通过限制烧结进程获得高剪切强度和低孔隙率,为三维集成互连提供新选择。

75967093 · Jiahua, He · 王聪 · 贾贤石 · 李凯 · Dejin, Yan · Lin, Nai · 段吉安

Applied Surface Science 2025

参数信息

剪切强度
12.78 MPa
孔隙率
14.28 %
剪切强度
13.92 MPa
孔隙率
12.64 %
剪切强度
10.14 MPa
孔隙率
19.48 %
剪切强度
13.28 MPa
孔隙率
10.36 %

技术优势

剪切强度更高

石墨烯包覆层限制铜原子扩散,抑制烧结合并,使烧结后剪切强度从8.38 MPa提高到12.78 MPa,提升约52%。

孔隙率更低

石墨烯包覆层阻碍颗粒完全融合,使烧结后孔隙率从38.19%降至14.28%,减少约63%,有利于互连致密性。

低温可烧结

在低至473 K的温度下即可完成烧结,随着温度升高,孔隙率进一步降至12.64%,剪切强度升至13.92 MPa。

应用场景