FeCoSiB/Ti声表面波磁场传感器

灵敏度提升51%

该传感器通过低温退火调控磁声耦合，显著提高了灵敏度并大幅降低了温度漂移。

王文 · 吴昊 · 白飞明

Nanoscale Advances 2025

具体参数

灵敏度（退火后）
236.19 ° per mT
饱和磁致伸缩系数
46.9 ×10⁻⁶
ΔE效应
49.5 %
灵敏度提升幅度
51 %
温度漂移系数降低
62.5 %
灵敏度（未退火）
156.34 ° per mT
灵敏度（高温退火后）
8.67 ° per mT

技术优势

灵敏度大幅提升

100 °C退火后磁致伸缩系数提高至46.9×10⁻⁶，ΔE效应改善至49.5%，灵敏度比未退火器件提升51%。

温度漂移减半

退火后内应力显著释放，降低温度引起的磁弹性变化，温度漂移系数降低62.5%。

插入损耗不变

低温退火在提升灵敏度的同时不增加声衰减，传感器插入损耗几乎不变，便于系统集成。

应用场景